과제 해결 사례
정지 포지션 증가에 따른 고정밀 위치 결정 및 흔들림 해소
반도체 관련 부품, 전자 부품 등의 세정기에 있어서, 세정시의 정지 포인트가 증가하기 때문에 정지시의 고정밀도화, 흔들림 해소가 요구되었다.
해결 내용 · 대책
효과 · 장점
정밀한 정지 정도를 배경으로, 텍 타임 향상을 향한 대처가 가속, 시너지 효과를 얻고 있다.
반도체 관련 부품, 전자 부품 등의 세정기에 있어서, 세정시의 정지 포인트가 증가하기 때문에 정지시의 고정밀도화, 흔들림 해소가 요구되었다.
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